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工業技術研究院 - 技術成果 - 大氣壓電漿製程設備
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工業技術研究院 - 技術成果 - 大氣壓電漿製程設備
大氣電漿技術係處於常壓的環境中利用高能電場的作用,使中性氣體解離而成為電漿態,而無需運用價格高昂的真空腔體與真空系統。目前自主開發 ...
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