工業技術研究院 - 可移轉技術 - 低濃度酸鹼廢氣高效率洗滌處理技術

半導體等高科技產業工廠排放的廢氣特性為大風量、低濃度，其中經常含有酸性及鹼性污染物，例如HCl、HF與NH3等。用於處理這些污染物的廢氣洗滌塔去除效率普遍不佳，且有隨濃度降低而下降的趨勢。

itri.org.tw