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工業基礎技術政策性項目簡報 - 清華大學研發處

2011年4月27日 ... 我國半導體設備投資金額全球第一,自主關鍵設備自製率不及6%產值比例概估); 建立半導體製程設備基礎技術,協助我國半導體業者從多為國外 ...

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