流量單位: SCCM = ml/m 單位時間標準毫升數 standard-state cubic centimeter per minute SLPM =L/m 單位時間下標準公升數 standard liter per minute 壓力 強度單位: 1 Pa(pascal巴斯卡) = 1N/ M^2 =1 Kg/ms^2 =0.01 mbar psi= lb/in2 (磅/平方英吋) 1 atm (標準 ...
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