專利情報：電漿產生裝置專利訴訟Zond控告Fujitsu Semiconductor

Source:科技政策研究與資訊中心—科技產業資訊室整理，2013/7/16 關鍵字：Zpulser, LLC(子公司)、等離子體(plasma)、獨特高功率電漿產生器(unique high-power plasma generators)、強離子化電漿、Roman Chistyakov (發明人)、磁控濺射(magnetron sputtering ...

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