因為真空幫浦擔任將真空腔體內之氣體排除至腔體外的則任,由於不同的真空幫浦因其作用原理 不同,所以其排氣的極限都有所不同,通常一個真空腔體其真空程序的要求會因應用的層面不同,所以往往需要多種不同的幫浦組合。以下我們將 ...
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