實驗一 真空鍍膜系統之認識 一、實驗目的 認識真空系統的基本結構,了解其工作原理,並熟悉其基本操作。 二、實驗儀器 機械幫浦、擴散幫浦 三、實驗原理 (A)一個空間中完全沒有任何物質和氣體的存在,稱為絕對真空。
www.phy.fju.edu.tw