宜特科技-分析、檢測與可靠度 - 【9/25新竹場】先進製程TEM材料分析研討會

先進製程的開發是否到位，材料之結構與元素分析能力往往是關鍵，尤其當製程進入28奈米以下世代，奈米元件尺寸不斷微縮，各端連接線結構極為細緻，在此細微結構下，往往會因材料表面與微結構的汙染或缺陷，使得其物性、電性及化性起變化，干擾 ...

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