宜特科技 | 微光顯微鏡(EMMI)

對於半導體元件之故障分析而言，微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)已被學理證實是一種相當有用且效率極高的診斷工具。該設備具備高靈敏度的CCD，可偵測到元件中電子－電洞對再結合時所發射出來的光子，能偵測到的波長約在 350 nm ~ 1100 nm 左右。

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