奈米通訊。第六卷第二期 1.半導體廠務工作

目前在本實驗室所代表的半導體製程的廠務 工作，約可分為下列數項： 1.一般氣體及特殊氣體的供應及監控。 2.超純水之供應 ... 廠務系統 的穩定性為提高產品良率之必要因素，因此，舉凡環境的溫度高低，純水品質，電壓品質及氣體或化學品的供應 ...

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