奈米通訊。第六卷第一期 17.電遷移效應對銅導線可靠度之影響

第六卷第一期 電遷移效應對銅導線可靠度之影響 吳文發a、秦玉龍b a國家奈米元件實驗室、b國立交通大學電子所 1. 前言 由於積體電路生產成本與元件操作速度的考量，積體電路製作技術已邁入ULSI (ultralarge-scale integration)，造成在後段金屬連線 ...

www.ndl.narl.org.tw