奈米通訊。第五卷第四期 7.NDL在無機類低介電常數材質的研發簡介

第五卷第四期 NDL在無機類低介電常數材質的研發簡介 1張鼎張、2劉柏村 1國家奈米元件實驗室研究員 2國立交通大學電子研究所博士生 前言 隨著半導體技術的進步，元件的尺寸也不斷地縮小，而進入深次微米的領域中。

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