奈米通訊。第五卷第三期42.光學微影術中光阻的發展趨勢

圖二所示係為k1值之趨勢預測(NA值皆為0.6)1，圖中的粗線係由前述之解析度公式所求得。以KrF雷射光源為例，其對0.25μm線幅之k1值係為0.6，雖然具有光學上的 ...

www.ndl.narl.org.tw