奈米通訊。第五卷第三期22.銅金屬化製程簡介

圖一是有機金屬分子之化學氣相沉積反應原理。在銅的有機金屬前驅 .... 銅本身易於氧化，所以非常適合做CMP製程，但是卻會有dishing的效應；另一方面post-CMP clean也是一個重要的問題。

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