奈米通訊。第五卷第三期 8.二次離子質譜術與超淺接面分析

第五卷第三期 二次離子質譜術與超淺接面分析 潘扶民 國家奈米元件實驗室 IC產品物理結構大幅縮小的同時，相關的分析技術對微區分析的能力自然亦需相對地提升，這除了平面解析能力，亦包括縱深解析度的改進，由於複層結構的微細化，層與層之間的 ...

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