奈米通訊。第五卷第三期 22.銅金屬化製程簡介

第五卷第三期 銅金屬化製程簡介 張鼎張 1、鄭晃忠 2、楊正杰 3 1 國家奈米元件實驗室副研究員 2 國立交通大學電子系教授及國立交通大學半導體中心主任 3 國立交通大學電子研究所博士班學生

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