奈米通訊。第五卷第三期 22.銅金屬化製程簡介

在本文中將分別探討銅金屬化製程的最新發展，並對銅化學機械研磨技術、銅之乾式蝕刻技術以及銅的可靠度方面的研究作一簡單的介紹。 一、前言 金屬連接線尺寸的縮小會增加連接線電阻及電流密度，而後者對電性遷移的可靠度有很大的影響。

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