奈米通訊。第五卷第三期 14.深次微米閘極技術之發展與未來驅勢(II)

第五卷第三期 深次微米閘極技術之發展與未來驅勢(II) 林鴻志 國家奈米實驗室 副研究員 在上期通訊中提到閘極的寄生電阻會隨元件縮小而上升，目前生產線一般採polycide 或salicide結構來解決此問題，近日也開始有人探討金屬閘極的可行性，在本期的文 ...

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