奈米通訊。第七卷第二期 36.電子束微影系統

電子束微影系統 Leica WEPRINT 200 簡介 許進財、李瑞光、邱燦賓 一、前言 隨著半導體工業的快速發展，高密度、小線寬及低成本無不是每個半導體廠所追求的目標，而達成這些目標的關鍵步驟，莫過於製程中的微影 (Lithography) 技術；倘若微影 ...

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