奈米球的乾式蝕刻 - 應用物理學系

一.實驗目的：氧電漿如何蝕刻有機材料 二.實驗儀器： 1.矽基板及500nm球溶液 2. 電漿機 3.微量滴管 4.原子力顯微鏡 三.實驗原理： 乾式蝕刻簡介 所謂的乾蝕刻，主要是利用電漿(Plasma)，而非濕式的溶液來對薄膜進行侵蝕的一種技術 ...

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