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微機電系統，是在1980年後新成立的研究領域，但在歐洲「微機電系統」被稱為「微系統技術」。 微機電系統簡稱為MEMS，是指利用「半導體製程」製作出來各種微型機電整合系統。微機電系統的應用範圍很廣，包含了控制電路、微感測器與微驅動器等，其 ...

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