奈米壓痕技術與應用 - 中華民國力學學會STAM

2 制。近20年來，由於力量控制和精密位移量測的快速發展，在新近的系統中，力量已 經可以控制到奈牛頓(nN)，且位移也可以精密量測到0.1 ...

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