以蝕刻(Etching)方式在藍寶石基板上製作出特定之奈米級微結構。此具有一定週期性的微結構面,可作為優質氮化鎵(GaN)磊晶薄膜成長之載體,為全球廣泛使用之高亮度LED用 ...
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