半導體金屬氧化物氣體感測材料由於對氣體有很好的靈敏度、材料成本低廉、元件製作簡單,. 可作成體積 ... 會與氣體濃度的改變成一定關係作為偵測原理. [4-9]。就感 ...
psroc.phys.ntu.edu.tw