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天線效應- 王朝網路- wangchao.net.cn
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天線效應- 王朝網路- wangchao.net.cn
什麽是天線效應在芯片生産過程中,暴露的金屬線或者多晶矽(polysilicon)等導體,就象是一根根天線,會收集電荷(如等離子刻蝕産生的帶電粒子)導致電位升高。
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