大氣電漿(AP)應用於有機物清除設備之簡介 - 半導體科技

在實際操作上為了提高清潔效果必需提高電漿系統的壓力。 圖2-2：大氣電漿示意 2-2 大氣電漿設備原理[2] 氧氣經由電漿解離，會產生大量的自由基粒子(如下式)，這些 ...

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