產品介紹 化學機械研磨液(CMP Slurry) 化學機械研磨(CMP)是一個移除製程,它是藉著結合化學反應和機械研磨來剝除沉積的薄膜,因此使得表面更平滑和更平坦。化學機械研磨的優點是允許高解析度微影技術的圖案化步驟,這是由於化學機械研磨可以導致 ...
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