壓電薄膜加速度微感測器之系統模擬分析

本文並應用有限元素分析軟體ANSYS，分析加速度感測器微結構之自然頻率. 及輸出響應，以驗證所推導之理論模式。 關鍵字： 微機電、壓感測器、加速度計、系統模擬.

www2.nkfust.edu.tw