壓電薄膜加速度微感測器之系統模擬分析

加速度感測器之感測原理 為當感測器本體受到 ㆒加速度x i 時，將造成振動質塊M 和感測器本體間 xo 。若在振動質塊與本體間置入㆒壓電 材料作為轉換器，藉由材料之壓電效應，則可以得 ...

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