壓電微型加速度計之製作與特性量測

等電器量。不同的感測方式各有其優 缺點，其中由於壓電材料 具有單位形 變所產生的電荷密度高、動作反應 快、雜訊低、輸出力大、對環境干擾 的敏感度低等優點，使得壓電式加速 度計相較於其他加速度計有操作溫度 ...

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