壓阻式感測器- 台灣Wiki

壓阻式壓力感測器的結構 這種感測器採用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,製成硅壓阻晶元,並將此晶元的周邊固定封裝於外殼之內，引出電極引線（圖1 ）。壓阻式壓力感測器又稱為固態壓力感測器，它不同於粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接 ...

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