場發射型掃描式電子顯微鏡 - 國立中山大學研究發展處 Office of Research and Development National Sun Ya

場發射型掃描式電子顯微鏡 場發射型掃描式電子顯微鏡 資料修正日期:96.01.02 掃描式電子顯微鏡其成像原理是利用一束具有5∼30 kV之電子束掃描試片的表面，接收表面產生 之訊號(包括二次電子、背向反射電子、吸收電子、X射線等)以顯現試片圖形之影像 ...

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