國立台北科技大學奈米光電磁材料技術研發中心

可適用於電機、機械、電子、光學、材料等研究領域。射頻磁控濺鍍機其基本原理 乃根據離子濺射原理，當高能粒子（通常是由電場加速的正離子）衝擊到固體表面，固體表面的原子和分子在與這些高能粒子交換動能後，就從固體 ...

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