【F06】低壓氣體流量校正系統(管式校正器) 服務之儀器 音速噴嘴、熱質式流量計、差壓式流量計、層流式流量計、活塞管式流量計、可變面積式流量計 校正範圍 (0.04~24) L/min 不確定度 0.10 % 校正點數說明 取5點流率,每個流率點重覆量測3次。
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