國家度量衡標準實驗室::研究報告

研究報告名稱 摘要 微力量測系統之靜電力回饋控制 (編號：07-3-A0-2460) 本研究報告說明靜電式偵測與致動微力量測系統中，用於力量量測之力平衡控制方法與架構。包含靜電力致動之方法，控制邏輯與實驗數據。

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