四點探針Four-Point Probe

2003年3月17日 ... 電阻、金屬薄膜片電阻、或epi 薄膜之片電阻…等，四點探針 ... 電阻值，以建立片電阻 與晶片良率之間的關係。 薄片電阻 ... 量測另外兩個探針間之電壓差值，就可以計算 出薄片電阻。一般而言， ...

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