四點探針量測儀(FPP)使用操作手冊

作者： 余沐榮 , 光電碩一 , 分機 : 4692 ( 2007 / 7 / 30 ) 四點探針量測儀(Four-Point Probe)可以測量導體及半導體的電阻。本設備主要用途為量測半導體薄膜電阻，即片電阻係數(Sheet Resistivity)，單位為 Ω/

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