四甲基氫氧化銨 不純物分析概要

SAN LIEN TECHNOLOGY 化學領域 70 四甲基氫氧化銨不純物分析概要 一、摘要： 四甲基氫氧化銨（Tetra-methyl ammonium hydroxide, 簡稱TMAH）為半導體和液晶顯示器 (LCD)微影製程端常用之顯影液(developer)。然 在這些精密製造業的應用上，些許的不純 ...

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