可延著基板(3D結構)的凹凸實施阻劑塗佈,是傳統旋轉塗佈器無法做到的 ... 主要用途 MEMS 裝置試作、開發及量產 集積化MEMS試作、開發及量產 厚膜阻劑塗裝 半導體重新配線 ...
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