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含微壓力、溫度及加熱器陣列之新式微流道系統研製

器。研製的新式微壓力感測器結合傳統體型. 與面型壓力感測器之優點,同時具有 絕熱性. 佳、高空間解析 .... 進行一連串的微. 感測器、量測設備及實驗系統校正,其中 微 ...

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