各種體型微加工形狀 - 南台科技大學知識分享平台: EshareInfo

微機電概論 C-K Liang 何謂面型矽微加工技術？面型矽微加工，是比較靠近積體電路半導體製程的作法，主要是利用蒸鍍、濺鍍或化學沈積方法，將多層薄膜疊合 而成，此種方法較不傷及矽晶片。因為任何微機械結構，

eshare.stust.edu.tw