台大機械系-顏家鈺教授

研究計畫 : 過去五年總計畫經費 NT$17,259,584 Research Projects: Total fund in the past five years: NT$17,259,584 1.多電子束平行掃瞄微影系統設計--子計畫四：電子束微影多自由度托架設計，主持人，計劃期間：95年度，研究經費：NT$2,496,000。

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