研究計畫 : 過去五年總計畫經費 NT$17,259,584 Research Projects: Total fund in the past five years: NT$17,259,584 1.多電子束平行掃瞄微影系統設計--子計畫四:電子束微影多自由度托架設計,主持人,計劃期間:95年度,研究經費:NT$2,496,000。
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