2007年11月12日 - 電漿蝕刻是一種以氣體為主要的蝕刻媒介，並藉由電漿能量來驅動反應。 ... 此法的優點是擁有極佳的非等向性，蝕刻後的pattern邊緣接近90度，缺點 ...
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