原子解析度電子顯微鏡分析技術簡介

1 第 七 卷 第 四 期 毫 微 米 通 訊 原子解析度電子顯微鏡分析技術簡介 蔡增光 國家毫微米元件實驗室 前言 穿透式電子顯微鏡 (transmission electron m i c r o s c o p y , TEM) 是非常重要的微電子材料 微區及界面結構分析技術，其可協助製程監

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