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原子層沉積在軟性光電元件之應用

軟性光電元件需要能有效阻隔水氣與氧氣的封裝薄膜,而ALD 之零缺陷、低溫成膜 以及. 100 % 立體包 ... 目前研發. 較為成熟之軟性光電元件種類包括: 有機發光二極.

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