半導體製造業空氣污染管制及排放標準 劉偉杰/周錦國 環保署業公佈施行半導體製造業空氣污染管制及排放標準,半導體製造業產生之空氣污染物應由密閉排氣系統導入污染設備並處理至符合下列規定之排放標準後始得排放。
www.leeandli.com