半導體製造技術 - 南台科技大學知識分享平台: EshareInfo

微機電概論 C-K Liang 半導體製程-前段製程 半導體製程概分為三類：（1）薄膜成長，（2）微影罩幕，（3）蝕刻成型。而微機電元件的製造技術，則是利用半導體 製造技術為基礎，再加以延伸應用，其製造技術的彈性與變

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