半導體製程高介電（ High K）材料的介紹 - 台灣大學化學系

而為了提升被動元件的效能，減少被動元件的數量，將逐漸由埋入式被動元件（ embedded ... 特別是當半導體製程進入0.13µm 以後的世代，高介電（High K）薄膜將 會.

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