半導體製程高介電（ High K）材料的介紹 - 台灣大學化學系

特別是當半導體製程進入0.13µm 以後的世代，高介電（High K）薄膜將會 ... （BaTiO3 /epoxy）的複合材料，在薄膜製程㆖的改良與複合材料整體介電值的提升作㆒敘述 ...

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