半導體製程設備

第七章真空測漏 授課教師：黃 俊 傑 Outline 真空測漏之基本概念 漏氣量與漏氣位置之測定 測漏方法 氦氣測漏儀 何謂漏真空？ 在容器壁上具有不欲存在的孔洞，或多孔性材質等狀態以致於使流體或氣體逸出或逸入則稱之漏真空。

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